晶瑞股份斥资7500万元进口韩国ASML光刻机设备

9月29日，苏州晶瑞化学股份有限公司发布公告称，公司为开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目，拟通过Singtest Technology PTE. LTD.进口韩国SK Hynix的ASML光刻机设备，总价款为1102.5万美元（折合7508万人民币）。截至发稿前，该公司股价涨停，报于42.86元。

晶瑞股份同时披露，拟发行不超5.5亿元可转债，用于集成电路制造用高端光刻胶研发项目、阳恒化工年产9万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目、补充流动资金或偿还银行贷款。

晶瑞股份是一家微电子材料的平台型高新技术企业，围绕泛半导体材料和新能源材料两个方向，主导产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料、锂电池材料和基础化工材料等。

晶瑞股份2020年半年报显示，公司上半年归属股东净利润2030.2万元，较去年同期上涨40.61%，总资产20.92亿，较去年同期扩大60.84%。

晶瑞股份在半导体材料方面布局的高纯双氧水、高纯氨水及在建的高纯硫酸等，产品品质已达到或者可达到SEMI最高等级G5 水准，自主开发的先进的提纯技术获得了发明专利。超大规模集成电路用超净高纯双氧水技术突破了国外技术垄断，产品品质可达到10ppt以下，满足SEMI制定的最高纯度等级，成功填补了国内空白。